表1.D07-7B型MFC性能指标编号项目D07-7B型1流量规格(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM(0~1,2,3,5,10)SLM2准确度&plu***n;1.5%F.S3线性&plu***n;1%F.S4重复精度&plu***n;0.2%F.S5响应时间电特性:10sec气特性:≤4sec6工作压差范围(0.1~0.5)MPa7耐压3MPa8工作环境温度5℃~45℃9输入输出信号0V~+5.00V(输入阻抗大于100K,输出电流不大于3mA)10电源+15V50mA-15V200mA11外形尺寸见图412重量1.1kg注意:质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。质量流量的单位规定为:SCCM(标准毫升/分);SLM(标准升/分)标准状态规定为:温度---273.15K(0℃);气压—101325Pa(760mmHg)F.S.(FullScale):满量程值)