型号LCVD-G4.5LCVD-G8.5外形2,500mm（宽）x2,000mm（长）x2,500mm(高)4,000mm（宽）x3,500mm（长）x2,500mm(高)重量6.5吨左右10.5吨左右电力需求380V，50Hz,3Phase,approx.40AMax380V，50Hz,3Phase,approx.60AMax修复能力可修复产品尺寸长宽≤920*730mm(WxD),厚度≤3mm长宽≤2500*2200mm(WxD),厚度≤3mm沉积材质W,Cr,Mo,Al沉积线路速度5~10um/s(厚度5000埃)单处缺陷修复时长***后，修复单处缺陷时间在5s左右工艺参数软件可以添加任意组工艺参数Cutting宽度2um到50um可调沉积宽度3um到30um可调沉积边缘精度+-0.5um沉积厚度2000~15000埃可调沉积线路的电阻值<65欧姆(宽度5um,长度50um,厚度5000埃)沉积稳定性1.清洗机清洗次数>10times2.棉签蘸擦拭>500次3.强酸碱测试>1H3.毛刷擦拭>1H4.超声波1MHZ>1H平台功能Gantry结构龙门式X-Y-Z运动行程920*730*58mm(X-Y-Z)2500*2200*58mm(X-Y-Z)X-Y运动速度0~200mm/s可调精度(***小移动量)0.1umZ运动速度0~2mm/s可调精度(***小移动量)0.1um重复***精度+-5um修复对位精度0.1um减震主动式减震系统，能够实现50X物镜下画面不抖动照明平台有下光源，并且能够上下光源切换，罩内安装照明，照度达到1000lux以上。光学特性光路系统倍率：50X~1000X5X,10X,20X,50XNIR,50XUV,50XNUVObjects光学分辨率0.7um物镜切换速度0.2~0.7s切换镜头偏差小于3um聚焦激光自动聚焦相机200万像素激光特性能量调节精度0-1000steps0-100%Slit窗口调节大小0~2.4mmslit窗口控制精度1um激光能量校准方式自动校准校准时间3mins激光能量校准精度优于2%脉宽<12ns光斑尺度2.0~@50Xobject1064nm(在标准mask上测试)扫描面能量均匀性优于5%IR修复工作模式Scan扫描式和Step模式扫描路径可任意定义路径控制工作模式自动修复，实现数据的自动导入和输出，联机通讯手动或者半自动修复上下片机械手或者流水线CIM系统有减震主动式减震系统，能够实现50X物镜下画面不抖动工业PC23寸显示器&电脑：i7处理器，1TB硬盘2块(其中一块为备份硬盘)，8G内存，1G***显卡，DVD-ROM通讯接口RS232/EtherCAT/GPIB等安全整机带罩，操作人员在罩外操作紧急开关EMO限位sensor，运动平台和激光系统限位互锁Interlock报警，自动关闭系统(软件设置为可选)应用TFT-LCD和OLEDPanel布线开路和短路的修复,Mask的缺陷修复)