型号LCD-70LCD-55LCD-20尺寸2000mm长*1500mm宽*2000mm高1500mm长*1300mm宽*1500mm高1200mm长*800mm宽*1500mm高重量约2000KG约1200KG约120KG电力需求220V,50~60Hz样品台大小1600mm*1000mm650mm*550mm500mm*320mm样品台X-Y行程样品台固定样品台固定样品台X-Y行程8*8英寸样品固定方式自然放置自然放置自然放置光源面背光、点背光、上光源面背光、点背光、上光源面背光、上光源显微镜特性行程1600mm*1000mm*50mm650mm*550mm*50mm镜体固定，Z轴行程50mmCCD像素50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字）目镜10X目镜10X目镜10X目镜物镜配置物镜：5X,10X,20X,50X、100X（选配）配置物镜：5X,10X,20X,50X、100X（选配）配置物镜：5X,10X,20X,50X（选配）、100X（选配）物镜转盘电动鼻轮手动/电动鼻轮手动鼻轮调焦聚焦模式:电动聚焦模式：手动或电动聚焦模式：手动激光特性波长波长可选择1064/532/355/266nm波段波长可选择1064/532/355/266nm波段波长可选择1064/532/355/266nm波段能量输出功率2.2mJ/pulse输出功率2.2mJ/pulse输出功率2.2mJ/pulse微加工能力可加工材质：Cr/Al/ITO/Ni/TFT/RGB/PolySilicon/Mo/SiN/CF内杂质等可加工材质：Cr/Al/ITO/Ni/TFT/RGB/PolySilicon/Mo/SiN/CF内杂质等可加工材质：Cr/Al/ITO/Ni/TFT/RGB/PolySilicon/Mo/SiN/CF内杂质等加工精度***小可加工精度1*1um（配置100X镜头时）***小可加工精度1*1um（配置100X镜头时）***小可加工精度1*1um（配置100X镜头时）冷却方式可选择风冷激光或水冷激光可选择风冷激光或水冷激光可选择风冷激光或水冷激光控制系统结构精密数控系统，采用高精度运动控制卡和日本进口伺服驱动系统和步进系统实现3轴联合运动，实现X-Y平台的任意曲线的运动精密数控系统，采用高精度运动控制卡和日本进口伺服驱动系统和步进系统实现3轴联合运动，实现X-Y平台的任意曲线的运动高精度研磨级丝杠传动，精度1微米防震***进口气浮防震平台速度速度分4档可调，可以设定***慢速度，***低速度下***小移动分辨率为1μm，***高速度不低于150mm/s速度分4档可调，可以设定***慢速度，***低速度下***小移动分辨率为1μm，***高速度不低于150mm/s20寸以内面板生产工艺不良和缺陷的修复，亮点、亮线、显示异常等故障修复软件功能软件系统能够实现激光控制，光源控制，物镜转盘切换，电动聚焦，平台控制，图像调整，鼠标激光画框，等功能。可实现图像点击移动，自定义轨迹，坐标储存，存储坐标***，手动坐标***，移动鼠标寻迹等功能。速度可以通过软件设定，鼠标移动的距离控制。PLC，摇杆电机控制手动控制可选附件手动控制盒维修专用补偿镜头维修专用补偿镜头维修专用补偿镜头特殊定制特殊定制特殊定制运用方向70寸以内面板生产工艺不良和缺陷的修复，亮点、亮线、显示异常等故障修复55寸以内面板生产工艺不良和缺陷的修复，亮点、亮线、显示异常等故障修复20寸以内面板生产工艺不良和缺陷的修复，亮点、亮线、显示异常等故障修复（Oled/LCD，手机，数码）)