型号LCD-70-TEGLCD-100-TEG外形2500mm长*2000mm宽*2500mm高3800mm长*2500mm宽*2500mm高重量约9700KG约14200KG电力需求380V，50Hz,3Phase,approx.50AMax可测试液晶屏尺寸长宽≤1600*1100mm(WxD),厚度≤3mm长宽≤2400*1400mm(WxD),厚度≤3mm平台功能Gantry结构龙门式X-Y-Z轴运动行程1600*1100*58mm2400*1400*58mmX-Y运动速度0~400mm/s可调X-Y精度(***小移动量)0.1umX-Y重复***精度&plu***n;5umX-Y轴驱动直线电机+光栅尺Z运动速度0~2mm/s可调Z精度0.25umZ重复***精度&plu***n;1umZ轴驱动伺服电机+光栅尺Z轴保护电机保护+机械限位保护样品台平整度25um平整度(检测方法：显微镜等焦面测试法)样品台涂层防静电涂层样品台高低温TempChuck或者ThermalStream(-55~200℃)光学特性光路系统倍率：5X,10X,20X，50XObjects，放大倍率范围50X~500X聚焦自动聚焦CCD200/500万像素工业相机光源面背光、点背光、上光源光源亮度***可调，面背光可选择分区控制激光特性激光系统激光切割系统（2.2mj/PluseMaximum@50Hz)0-100%激光波长1064nm，532nm，355nm光斑尺度0.8~1.5um@100Xobject1.0~3.0um@50Xobject工作模式OneShot/Burst/Continue形状可调节的矩形探针规格针卡两套，可同时测试两个pattenPitch范围：定制探针材质：钨or铍铜等工作模式：可以单独测试，或者两个针卡一起测试。两个针卡间的相互距离可调。探针和TEG对位方式坐标***测试过程中的二次视觉自动校准探针和TEG的接触方式自动接触探针自动保护功能:机械限位，可以根据panel厚度设定限位高度，也可以按探针接触样品测试Pad时发生的形变，设备通过探针形变情况，从而确定压入量。探针轴旋转行程360°探针旋转精度0.01°旋转重复***精度0.03°探针清洁自动清洁清洁后视觉自动判断探针台漏电精度（安装针卡的情况）100fA以内（测试标准：给针卡任意针脚加压-5V~+5V，在不吹N2的情况下，空载测试漏电流<100fA）吹氮气N2辅助干燥(Recipe可以设置是否开启，且测试报告体现开N2与不开N2区别)测试能力测试系统两套半导体参数测试系统2*HR***U+4*MP***U+CV测试单元等TFT测试项目IonIoffVthMobilitySwingResistance测试项目RsRc其他客户需要的项目opti******大输送电压+-200V***大输送电流+-1A电流测试分辨率1fA（无需前置放大器）电压测试分辨率0.5uVCV测试频率范围1kHz~5MHz接地单元电流宿能力4.2AGNDU控制工作模式自动测试，实现数据的自动导入和输出，联机通讯手动或者半自动测试上下片机械手或者流水线CIM系统有减震主动式减震系统，能够实现50X物镜下画面不抖动工业PC23寸显示器&电脑：i7处理器，1TB硬盘2块(其中一块为备份硬盘)，8G内存，1G***显卡，DVD-ROM通讯接口RS232/EtherCAT/GPIB等安全整机带屏蔽罩，操作人员在屏蔽罩外操作紧急开关EMO限位sensor，运动平台和探针系统限位互锁Interlock报警，自动关闭系统(软件设置为可选)应用TFT-LCDPanelTEG探针测试，OLEDPanelTEG探针测试)