***化***材料涂胶前预处理烘烤箱，百级无尘烘箱一．用途:无尘烘箱用于半导体制造中硅片、***化***、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。二．特点：1.在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class1002.全周***焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；3.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.AFilter20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送风，过滤效率99.99%，Class100,排气口：３"φ(附自动启闭风门)4.强制送风循环方式。双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到***佳温度控制精度。三．产品技术参数：1.无尘等级：Class100;2.温度范围：+60～+250℃；3.升温速度：常温～+200℃,升温速度>6℃/min,4.温度均匀度：&plu***n;2.5℃;（空载）5.温度***度：&plu***n;1℃（空载）6.设备型号：型号工作室尺寸（mm）外形尺寸（mm）加热功率层板COL-2D(双腔）W600×H500×D600W1655×H1850×D125014kw共2片7.全周***焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；8.内胆材料：采用进口SUS304#日制镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生PARTICLE；9.中桶材料：采用进口SUS304#日制镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污及***焊密封加工(防污染)。10.保温材料：采用正厂***玻璃纤维公司出品，100K级高密度高保温板制造。11.电热器：采进口覆套式电热器(SHEATHEDHEATER)无尘化电热发生器。12.温控器：采用日本OMRONE5A型温度控制器，控制器LED数字显示及设定、PID自动演算、薄膜设定，***度&plu***n;0.3%FS。13.完善的安全保护措施：漏电保护/过热保护报警/电机保护报警/门锁工作时门自动锁/异常显示(三色警示灯)无尘烘烤箱***：400-8238860；联系人：蒋鑫,15221744475***:147224984参考网站：http://ne-e.com.)