EMS1050低温灰化仪应用领域：生物芯片领域***材料、光学材料研究电子半导体领域高分子材料研究电化学、***零部件处理有机材料的灰化、刻蚀仪器性能：自动调频高频发生器内置旋转真空泵此系统通常使用氧及***的混合气体，氧去除有机物质（碳氢化合物），***对样品表面进行刻蚀低温等离子灰化、刻蚀、清洗(0-150wattsRF)真空监测.双重气流针阀控制***时间定时微处理器程序设置LCD状态数字显示腔室为圆柱形，样品装载为抽屉式抽拉系统，样本操作方便聚碳酸脂安全防护技术参数：欢迎大家登录或者010-51248120、hedebio@获取详细信息)