5、半自动小尺寸晶圆探针台HSP-100可测4’’晶圆HSP-150可测6’’晶圆此款半自动探针台系统支持4’’或6’’小尺寸晶圆。设备装配有高精度X-Y-Z-θ四维闭环操作样品台，具有非常好的高精度***和可重复性。这款探针台系统确保探针可靠接触。此款探针台系统支持高温样品座，温度从20℃到300℃。此款探针台系统可支持高电流和高电压选项。应用：温度范围：20℃到300℃超低信号I-V测量（f***）各种C-V测量（准静态C-V,HF-CV，RF-CV）[subpF级]RF测量（到67GHz）/S参数测量超高速I-V测量扩展应用：支持探卡（支持多点位晶圆可靠性测试WLR）可加激光切割（点标记，保护层剥离，金属层切割）有效隔离振动和超高精度影像识别（精度：&plu***n;1um或更好）光电子中光接收/发散特性评估应用（如：LED，LD，VCSEL，PD）高功率元器件测量（200A脉冲，+/-3kV三轴,+/-10kV同轴）晶圆的可靠性测试（如：EM，TDDB，HCI，NBTI，BT）日本Hisol探针台系统从低信号到高功率测试，从DC，I-V，C-V测试到RF测试。我们为半导体和FPD（平板显示器）提供分析探针台系统，我们能提供从紧凑的手动探针台到半自动300mm尺寸的探针台，温度从-65℃到300℃变温测试。我们能定制***合适探针台满足您的实际测试需求。我们的探针台系统符合宽范围测试需求，从低信号测试到高功率，从DC参数分析到RF测试，晶圆可靠性测试，磁场测试，光学测试。日本HiSOL公司探针台特点：测量芯片尺寸：2’’到12’’手动和半自动探针台f***超低电流测试fF级超低电容测试高频测试可到67GHz大气环境下，样品温度：-65℃~400℃真空环境下，样品温度：4K~500℃1/f噪音，RNT测试脉冲I-V测试，超高速I-V测试高电流测试（脉冲电流可到200A）高压测试（~10KV）静电放电（ESD）评估故障分析电磁激励测量光电（VCSEL，PD等）测量芯片可靠性测试（EM/TDDB/HCI/NBT/BT）)