湿法刻蚀设备Wet Station
湿法刻蚀设备(英文名:WetStation)型号:WS-1000M&WS-1000产地:美国自1985年起,Laurell公司向遍布***的生***工和半导体材料科研领域的实验室提供表面涂敷工艺的解决方案,目前,全世界有超过15000套系统正在安全运行。WS-1000WetStation湿法刻蚀设备,全白色聚丙烯构造,可内置任何Laurell公司的旋涂机及显影机,排放简便的入氮口和DI喷头,如果需要单工的系统,可选择WS-1000M湿法刻蚀设备,WS-1000系列旋转处理湿法设备可以被配置成测试模块构造,安装简便,易于拆卸,更便于操作者控制。一、湿法刻蚀设备功能:●涂敷Coating●刻蚀Etching●显影Developing-Aqueous/Solvent●清洗Cleaning-Aqueous/Solvent●可选配,Sulfuric硫化物/Peroxide***,溶液处理(insitumixing)●可选配,HBr溶液处理●带温控的显影功能●冲洗甩干二、湿法刻蚀设备特点:●全PP材质构造●可集成Laurell匀胶旋涂系统●有排孔的湿站操作台(易清洁)●特殊设计的湿站压力系统Wetplenum●带流量计的排液管道●各类组件的隔离设计(散热原件,泵浦和压力容器等)三、湿法刻蚀设备材料选择:可以根据应用选择更***的材料;●WS-1000-CP5符合SEMIS93标准应用在消防安全和洁净空间等领域。CP5符合UL94V-O火灾分类标准。它具有优良的平衡的物理性能,耐化学***性和耐火性。●WS-1000-CP7-D的材料阻燃特性符合***严格的FMRC4910测试标准,满足多方面条件下的难燃性,自熄特点和彻底燃烧。这种***的材料也达到或超过产生低烟和***小毒副产品的检测标准。)
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