1、系统概述1.1智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全；1.2防腐装置；★1.3设有保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进***流保护；1.4通信接口，蓝牙连接2、处理腔体2.1处理腔体内径不小于9.5英寸(241毫米)；2.2Wafer芯片尺寸至少满足10-150mm直径的材料，方片125x125mm，无需更换片托；2.3腔体具有易清洁的NPP天然聚丙烯材质；3、旋转马达3.1转动速度至少满足0-12,000rpm，3.2旋涂加速度不小于12,000rpm/sec；3.3马达旋涂转速稳定性能误差不超过&plu***n;1%；4、控制系统★4.1工艺时间设定范围至少满足1-5999.9sec/step，精度不超过0.1s；★4.2配有高精度PLC可编程的控制器，设置点精度小于0.006%；4.3可存储不少于20个程序段，每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态；★4.4分辨率要小于0.5RPM，重复性误差要小于&plu***n;0.5RPM，具有国际NIST标准认证，并且无需再校准；5、配套泵浦5.1配套真空泵系统：无油型220~240伏交流，50/60赫兹；5.2真空吸附范围25-28英寸***柱(~635-711毫米***柱)可调节，抽速不小于4.5SCFM(0.11立方米/分钟)；6、系统附件6.1原装进口水平测试仪；6.2两袋密封圈；6.3配有两套可更换的废液接收单元；6.4UD自动滴胶装置：UD-3带倒吸装置的多喷嘴可编程针筒；6.5EBR(EdgeBeadRemover)：晶圆去边，机械装置；)