Laurell匀胶机H6M23N
匀胶机(英文名:SpinCoater)适合半导体硅片的匀胶镀膜详细介绍:匀胶机(英文名:SpinCoater&SpinProcessor)行业俗称:匀胶台、匀胶机、旋涂仪、涂胶机、镀膜机、涂层机一、产品概述:***新款H6M23N匀胶机适应于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。美国Laurell匀胶机具有稳定的转速和快速的启动,可以保证半导体中胶厚度的一致性和均匀性,这正是H6匀胶机的特点。二、匀胶机工作原理:匀胶机H6M23N(spincoater)的工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,甩胶机常用于各种溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。三、匀胶机H6M23N主要性能指标:1、Windows10平板电脑,SPIN3000PC触摸界面软件轻松编程;2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直径的材料,方片125x125mm,(小于10mm可选配托盘);3、转动速度:0-12,000rpm,4、旋涂加速度:0-13,000rpm/sec;5、马达旋涂转速:稳定性能误差<&plu***n;1%;6、转速调节精度:<0.2rpm,重复性<0.2rpm;7、工艺时间设定:1-5999.9sec/step0.1精度;8、匀胶机材质:NPP天然聚丙烯材质,抗腐蚀性和抗化学物性,美观大方;9、程序控制:可存储20个程序段,每个程序段可以设置51步不同的速度状态;10、分辨率:分辨率小于0.5转/分,可重复性小于&plu***n;0.5转/分,美国***标准技术研究院(NIST)认证过的,并且无需再校准!]11、配套真空泵系统:无油型220~240伏交流,50/60赫兹;12、原装进口水平测试仪;)
武汉迈可诺科技有限公司
业务 QQ: 2521086670