高精度电涡流传感器***T是一款专门为客户定制的OEM产品，可测非导磁体和铁磁材料，有1、2或3通道可配电涡流探头。拥有埃米级分辨率，符合CE和RoHS标准，尺寸小巧，并可配13种电涡流探头。同时材料、线性、分辨率、带宽各种性能可自行优化。目标1能够***地调整和保持半导体晶片在进行物***相沉淀（PVD）室中整齐排列。2避免在进入沉淀室时，由于排列不整齐而造成晶片损坏。3确保沉淀物统一地沉淀在晶片上。高精度电涡流传感器解决方案在物***相沉淀系统中，晶片会被放入不同的沉淀室里，每一个沉淀室用来沉淀不同的物质。传感器被安装在沉淀室的内侧（如图所示）。每个传感器测量载有晶片的传送器在沉淀室中的位置。Kaman系统提供了模拟和数字两种输出信号，以防止超出系统可承受的范围。结果：提高了时间和精度。高精度电涡流传感器特点1类型：***T-9700高精度电涡流传感器2非接触性：应用涡电流的技术，每一个传感器均可以无接触地测量到目标体的位置。3高分辨率：系统可识别4重复性：Kaman传感器可以提供高精度的性能，可以反复用于物***相沉淀。5系统多功能性：测量系统可以广泛用于测量的各个领域。详情请访问：http:///mlhttp://英国真尚有集团深圳市真尚有科技有限公司电话：0755-26528100/26528011/26528012传真：0755-26528210/26435640)