去离子水（deionizedwater）是指除去了呈离子形式杂质后的纯水。国际标准化***ISO/TC147规定的“去离子”定义为：“去离子水完全或不完全地去除离子物质，主要指采用离子交换树脂处理方法。”现在的工艺主要采用RO反渗透的方法制取。应用离子交换树脂去除水中的阴离子和阳离子，但水中仍然存在可溶性的有机物，可以污染离子交换柱从而降低其***，去离子水存放后也容易引起***的繁殖。在半导体行业中，去离子水被称为“超纯水”或是“18兆欧水”。)