PDS2060PC全自动Parylene真空气相沉积系统SCSParylene沉积系统是为***的，可重复性的***敷型涂敷产品而设计的，具有高生产能力和操作简单的特点。可应用于高要求的三防保护、半导体、MEMS、传感器、生物***、磁性材料、***保护等领域。它已被广泛用于航空、航天、***、微电子、***、文保等方面的隔离保护，不会影响任何电子元件或基板的性能，是一种性能优异的高聚物材料。设备特性：模块化结构，可接各种尺寸的水平或垂直沉积腔室全计算机控制，图形操作界面的运行状态及参数显示全闭环压力控制保证沉积的均匀性及一致性所有参数可储存及输出色彩打印拷贝专利的自动涂层结合力促进剂蒸发装置很少的人为干预降低对操作者的要求UPS后备电源保证涂敷过程的完整性完备的安全报警及错误信息显示薄膜特性：在工件表面形成一层非常均匀的耐腐蚀分子膜致密无***，透明无应力，不含助剂，不损伤工件可涂敷到尖锐的棱边和裂缝，涂层厚度可控制在小于0.1微米-100微米或更厚，膜层具有***的水汽隔离特性。)