SCS公司的G3系列高精度旋转涂敷机应用于平面基板上高精度的液体材料涂敷，象光刻胶、聚酰***、金属有机化合物、掺杂剂、硅质薄膜等。G3旋转涂敷机系统在操作精度和编程灵活性方面采用了新的标准，具有很高的旋转精度和重复精度，拥有精度极高的加速/减速控制。型号：G3-P8，G3-P12，G3-P15吸盘（卡盘）旋转速度：0-9,999转/分钟加速度/减速度：0.1-25.5秒，0.1秒为增量驻留时间：0-999秒，0.1秒为增量点胶时间：1-25.5秒，0.1秒为增量)