SPECEL系列椭偏仪http:///sonlist-mlhttp:///st119056/SPECEL系列椭偏仪和常规椭偏仪相比，SPECEL系列椭偏仪要便宜一半左右，并且还具有以下特点，系统集成了光源、导光器件，可旋转的偏光镜、样品台、CCD阵列光谱仪等器件，其光源入射角设定在70°，但用户可根据需要设定为65到75°，整套仪器想当小巧，尺寸仅为52cm*33cm*24cm。的特点：膜厚准确度在1nm，精度在0.1nm可测量多达25层膜厚每层膜厚可从0.1nm至8um，450-900nm的光谱范围光斑大小为2mm*4mm，光学分辨率为200um*400um适合于平面半透明的材料测量，如晶片、玻璃、薄膜和金属箔等可选项包括2D位移功能，标准晶片等附带的软件可以非常容易地存储和载入不同的测量组合模式)