自动匀胶机，采用进口旋转马达，通过精准***系统，辅以皮带传送，实现光刻胶的自动涂覆，前烘。旋转速度达6000rpm，无故障加工片数多达10000片以上。自动匀胶具有加工速度快，涂覆均匀性好，节省光刻胶等特点。设备具有操作简单，维护量小等特点。适用范围广：适用3-6寸芯片烘烤温度控制***：≤1℃（50-150℃），≤2℃（150-200℃）旋转速度控制***：***高转速6000rpm，加速度可在0-5000rpm/sec范围内调节，转速精准度≤1-4%涂布均匀性好：片内≤130A，片间≤150A设备可靠性高：MWBF（平均故障间隔）≥10000片)