产品应用：DC、RF、mmW测试；纳米级电子器件测试、微机电测试；超导测试。产品特点：80k-573k温度范围，可扩展至4k-1073k。载物台内部液氮浸润式结构，快速降温，液氮使用量更少，节约耗材成本。高真空不锈钢真空腔体（配套分子泵组可达10-6mbar）。低温测试时真空腔体体内无凝露、结霜。红外截止玻璃观察窗，提升测试腔内部温度稳定性。4探针点测系统，***多可定制8探针点测系统。配套同轴或三轴电缆可应用于高精度的DC测试。配套微波测试套件可应用于DC-67GHz的RF测试或频率更高的mmW测试。技术指标载物台尺寸4"（2"、6"、8"方案可选）材质合金铜表面处理可选纯金镀层或沉镍镀层平整度<50µm@300℃载物台移动基座（可选项）X-Y轴行程范围4"*4"，根据载物台尺寸可选更大行程，电动控制系统可选精度1μmR轴微调角度范围&plu***n;9°R轴微调精度0.0001°/degZ轴细调行程范围13mm细调精度1μmZ轴快升行程350μmZ轴往复精度<1μm温度控制系统温度范围80k-573k温度精度0.1℃温控精度温控精度0.1℃，连续变温无节点。温度均匀性0.1℃@4(100mm)载物台。加热方式电阻加热制冷方式液氮制冷杜瓦罐容量80L自增压液氮杜瓦罐致冷剂消耗量15L液态氮（室温降至80k）温度扩展范围4k-1073k真空系统真空度10-3mbar*（可配套分子泵组，达到更高的真空度10-6mbar）真空泵旋片式双级油封真空泵，可升级涡轮分子泵组抽速16m3/h抽真空时间5min（10-3mbar）真空焊接波纹管三维弯曲大于25mm（定制参数）法兰KF（更高真空度要求则使用CF）真空腔体腔体材质不锈钢观察舷窗红外截止玻璃**真空泵接口法兰KF25液氮接口法兰KF25技术指标点测系统探针座数量4个（***多8个，可根据需求定制）探针夹具4个（***多8个，可根据需求定制）***精度5μm（可根据需求定制）X-Y-Z轴移动行程25mm*25mm*25mm（可根据需求定制）光学系统（体视显微镜）光学放大倍数15X-100X变焦倍率0.75X-5X（变倍比6X）CCD1/3”数字CCD，1920X1024像素，30ftps，USB2.0接口显微镜旋臂两段式显微镜支架，可快速移动***显微镜光学系统（单筒显微镜）光学放大倍数400X(21英寸显示器)变焦倍率0.58X-7X（变倍比12X，超大变倍范围）CCD1/3”数字CCD，1920X1024像素，30ftps，USB2.0接口显微镜旋臂两段式显微镜支架，可快速移动***显微镜显微镜移动基座（可选项）X-Y轴行程范围2"*2"，根据载物台尺寸可选更大行程，电动控制系统可选精度1μm防震台隔震方式气囊式防震台固有频率1.2Hz（水平），1.5Hz（水平）样品振动<300nm（真空泵工作时）*低温测试时真空腔体内无凝露或结霜。**红外截止玻璃：过滤红外光，防止红外光进入真空腔体内使腔体内部升温，提升载物台温度稳定性。***77k为液氮温度，实际操作中，由于载物台热传导损耗的存在，无法达到77k。根据液氮循环的时间而定，实际***低温度不会低于85k。特别提示1.“产品应用示例”栏目下的图示是为方便客户理解产品应用而拍摄的产品应用示意图片，实际销售的商品配置，请您参考“产品配置说明”或咨询我司***人员。2.若我司的***人员无法及时答复您的问题，请麻烦您致电深圳市展芯科技有限公司，电话：0755-86169688，我们将在***短的时间内响应您的需求。品牌简介-PRCBE展芯科技是一家***的探针台系统研发和生产商，致力于为用户提供中国（PRC）精准（Precise）、可靠（Reliable）和高性价比（Cost-effective）的探针台系统。依托于自有的芯片失效分析实验室，展芯科技得以根据***前端的测试需求不断地研发改进探针台系统，以满足用户日新月异的测试需求。同时，芯片失效分析实验室也为展芯的探针台系统提供了理论联系实际的测试平台，芯片分析实验室用户在使用探针台系统的同时，也给我司产品提供了宝贵的改进建议。经过10年的发展和积累，展芯已在探针台系统的应用技术领域取得了***的成绩，可针对用户不同的测试需求定制解决方案，如微弱电流测试（1fA）、RF和mmW测试（THz）、高功率测试（100A，10kV）、真空高低温测试（-196℃~800℃）、光电测试等等。凭借着PRC的产品，展芯赢得了半导体行业内知名科研机构和公司的信任和尊重，建立了长期的合作关系。展芯的探针台系统已在国内外的科研院所、学校和公司中获得广泛的使用，如中科院、广州五所（赛宝实验室）、北京自动化设备研究所、电子科技大学、西安电子科技大学、清华大学、北京大学、复旦大学、香港大学、香港科技大学、香港城市大学、华为、中兴、比亚迪、***等等。感谢您对展芯的关注，相信我们PRC的产品定能让您在集成电路(IC)、电路板、光学器件、MEMS、3DTSV、LCD等***半导体器件的精密电气测量及测试中获得精准可靠的测试数据。***服务2年质量保修期除探针耗材外，展芯科技销售的产品质量保证期为货物签收之日起2年，在此期间若合同标的物出现质量问题，均由展芯负责维修或替换，但以下情况除外：1.自然原因导致的产品质量***、精度下降；2.人为或不可抗拒的自然现象而发生的损坏；3.用户擅自进行的拆解、改装、功能附加或减除导致的损坏；4.用户自行或经第三方维修导致的损坏。免费终身维护除探针耗材外，展芯科技销售的产品均可享受免费终身维护服务。)