奥林巴斯STM7工具测量显微镜通过整合光学显微镜的测量能力实现***测量多年的显微镜开发经验成就了优异的观察性能奥林巴斯STM7工具测量显微镜系列采用了当前***光学显微镜中所使用的UIS2无限远校正光学系统。因此，观察到的图像具有高分辨率和高对比度，此外，像差也被完全消除，以确保实现对微小细节的高精度测量。作为高度测量的先锋，继续提供简单易操作的高精度3轴测量共聚焦自动对焦系统光路随着现代制造技术日益小型化和精密化，高精度测量也日趋重要——不仅是XY轴平面的测量，而且Z轴方向的高精度测量也成为必须。奥林巴斯成为***个成功开发了测量显微镜用采用主动反射、共聚焦方法的自动聚焦系统的公司，以此响应了这种与日俱增的需求。严格的可追溯系统确保品质可靠奥林巴斯通过一个严格的可追溯系统控制测量显微镜的***度。并且在安装系统时奥林巴斯也提供了可追溯的校准服务。测量显微镜跟踪系统STM7测量显微镜设计注重易用性提供载物台以适合眼下的样本大小[常见问题]Ÿ短测量行程无法满足较大样品的测量需求。Ÿ目前为止，大型载物台在X轴方向提供了足够的测量行程，但是Y轴的行程仍然较小。在测量过程中需要通过旋转样品来补偿比X轴覆盖范围要短的Y轴行程，这样的做法费事费时，效率不高。Ÿ由于可测量的范围窄，无法将数量较多的样品排列在载物台上，以实现一次性同时测量。[STM7解决方案]共有四种独特的正方形测量行程的载物台可供选用，分别为：50mm×50mm、100mm×100mm、200mm×200mm和300mm×300mm。不管是大的样品还是小的样品，总有一款载物台会适合您要测量的样品。Ÿ采用离合器系统可以在粗调和微调之间实现快速切换。具备了这种切换功能之后，载物台也可以沿着X轴和Y轴方向迅速移动，并且可以在XY平面上自由穿梭。Ÿ300mm长的方形载物台在X轴和Y轴方向上可以提供相同的测量行程，这意味着可以不旋转样品就实现大型样品的全部测量，比如300mm的晶圆和印刷电路板。更多详细内容请咨询上海富莱光学、奥巴仪器。使用相同的显微镜进行低倍率和高倍率观察[常见问题]大部分传统的测量显微镜只可以专用测量物镜或专用金相物镜，无法同时满足多种观察要求。[STM7解决方案]奥林巴斯STM7工具测量显微镜可以通过安装一个测量物镜适配器使用测量物镜，而更换为物镜转盘后，便可使用金相物镜。这意味着，STM7将金相光学系统和测量光学系统同时结合在一台测量显微镜中。通过这种方式，无论是测量大型样品还是精细样品，或是表面高度差异大的样品，STM7系列都可以对应并协助用户选择***佳的观察方法。测量物镜由于测量物镜具有非常长的工作距离，因此可以在对表面起伏较大的样品进行聚焦的时候，无需担心物镜与样品之间发生接触。此外，借助测量物镜的低倍率能力，可以一次观察到较大的视场。金相物镜可以得到和光学显微镜相媲美的高倍率和高分辨率观察能力。更重要的是，在明场观察之外还可以对应暗场，偏光和微分干涉观察。STM7规格小型手动镜架STM7-SF小型电动镜架STM7-SFA中型手动镜架STM7-MF中型电动镜架STM7-MAF大型手动镜架STM7-LF大型镜架STM7-LFA显微镜镜架聚焦垂直移动范围175mm145mm***大的测量高度120mm（配备测量物镜）175mm（配备金相物镜）90mm（配备测量物镜）145mm*1（配备金相物镜）Z轴测量分辨率0.1μmZ轴驱动方法手动同轴微调/粗调焦旋钮电马达驱动：●聚焦按钮：移动速度8mm/s（***大）●微/粗调焦旋钮：微调焦速度（旋转一周移动量）有4档可供选择(800μm，400μm,100μm，50μm)手动同轴微调/粗调焦旋钮电马达驱动：●聚焦按钮：移动速度8mm/s（***大）●微/粗调焦旋钮：微调焦速度（旋转一周移动量）有4档可供选择(800μm，400μm,100μm，50μm)手动同轴微调/粗调焦旋钮电马达驱动：●聚焦按钮：移动速度8mm/s（***大）●微/粗调焦旋钮：微调焦速度（旋转一周移动量）有4档可供选择(800μm，400μm,100μm，50μm)照明LED照明白色：用于反射光照明，绿色：用于透射光照明镜筒正像单目镜筒，正像三目镜筒(100:0/0:100)物镜测量显微镜用MM6-OB系列金相显微镜用MPLFLN系列,LMPLFLN系列,MPLFLN-BD系列,LMPLFLN-BD系列目镜MM6-OCC10X(带十字线,FN22),MM6-OC10X(FN22)载物台测量范围STM7-CS50:X轴50mm,Y轴50mmSTM7-CS100:X轴100mm,Y轴100mmSTM7-CS200:X轴200mm,Y轴200mmSTM7-CS300:X轴300mm,Y轴300mm测量***度(L：测量长度)STM7-CS50:(3+L/50)μmSTM7-CS100:(3+2L/100)μm(3+4L/200)μm(3+6L/200)μm***度保证重量STM7-CS50:5kgSTM7-CS100:6kg10kg15kg计数器显示轴数3轴单位毫米/微米/英寸/密耳***小分辨率0.1μm外形尺寸（宽×长×高）（mm）466x583x651466x583x811606x762x651606x762x811804x1024x686804x1024x844重量约84kg约92kg约152kg约159kg约277kg约284kg额定功率100-120/220-240V~50/60Hz0.3A/0.2A100-120/220-240V~50/60Hz0.6A/0.35A100-120/220-240V~50/60Hz0.3A/0.2A100-120/220-240V~50/60Hz0.6A/0.35A100-120/220-240V~50/60Hz0.3A/0.2A100-120/220-240V~50/60Hz0.6A/0.35A*1使用大型镜架STM7-LF/STM7-LFA时，可以将高度为100mm或以下的样品放置在光轴后方180mm或以上距离的地方。物镜工作距离倍率1x3x5x10x20x50x100x物镜测量物镜MM6-OB系列59.676.865.450.5---金相物镜MPLFLN系列明场--20.011.03.11.01.0LMPLFLN系列长工作距离--22.521.012.010.63.4MPLFLN-BD系列明场/暗场--12.06.53.01.01.0LMPLFLN-BD系列明场/暗场长工作距离--15.010.012.010.63.3)