Zeta-380/Zeta-380I光学轮廓仪概述型号：Zeta-380/Zeta-380I产品：光学轮廓仪/表面轮廓测试系统品牌：Zeta泽塔简介：的zeta-380i系统是一个完全自动化的检测和计量包装，检查HBLED底物如图案化蓝宝石晶片的优化Zeta-380/Zeta-380I晶圆检测和计量HBLED的zeta-380i系统是一个完全自动化的检测和计量包装检验HBLED底物如图案化蓝宝石晶片的优化快扫描缺陷全英寸晶圆为小1μ米直径在2.5分钟。使用缺陷的地图审查与高分辨率的三维光学轮廓仪的缺陷，小于30秒每缺Zeta-380/Zeta-380I简单的操作简单的配方和缺陷检查结合自动缺陷审查使用缺陷地图文件完成的zeta-380i包可以配置所有的软件和硬件需要***的缺陷检测和分析–以及Zeta的证明光学技术测量和报告系统的尺寸检测->检讨->措施>分类缩短过程反馈的前置时间，节省了宝贵的时间。的zeta-380i配备自动缺陷审查功能节省了时间和简化了缺陷分析从zeta-380i3D图像分析为大多数缺陷的答案。这减少了需要审查的耗时和昂贵的原子力显微镜或扫描电镜分析的缺陷的数量。Zeta-380/Zeta-380I光学轮廓仪用于任何类型的缺陷的通用光学·zeta-380i可与多种***的成像技术，以符合您的要求：·zdot创新三维成像是我们所有的光学轮廓仪的标准。的zdot技术与我们独特的通过晶片照明方案使准确计量PSS撞锥上的圆顶，平或PR颠簸·ZDC增强微分干涉相衬成像是伟大的纳米级表面粗糙度·ZSI剪切干涉仪提供了埃水平垂直分辨率·ZX5垂直扫描干涉仪是理想的测量纳米级的高度大视场超过Zeta-380/Zeta-380I系统信息缺陷检测缺陷扫描可以优化的吞吐量和灵敏度要求的基础上。生产扫描可以运行2.5分钟，快4英寸圆片。该软件可以zeta3d基于尺寸、强度和纵横比的缺陷型缺陷的研究。PSS计量预置的食谱可以优化锥，圆顶或平顶结构。大视场转换成一个更大的统计数据集从数百个凸块。与<<30秒的扫描时间和7nm的重复性，Zeta380i提供***快、***准确的过程控制反馈与竞争技术相比。Zeta-380/Zeta-380I光学轮廓仪技术规格Zeta-380/Zeta-380I缺陷检测尺寸（mm）系统（宽）：1000x860x840计算机：381×457×102监视器：596×449×240总重量：145磅/65公斤Zeta-380/Zeta-380I操作规范电压：100-230伏电流：4A操作温度：18-30°C，非—凝结，每小时1°C11/3“0.5X耦合摄像镜头22/3“0.35X耦合摄像镜头3静态重复性基于VLSI0.94μm台阶高度标准，100X/0.9n目的，压阶段，与标准zdot成像模式Zeta-380/Zeta-380I性能配置缺陷：150秒为一个完整的4英寸圆片~PSS计量：30秒/网站三维缺陷审查：~30秒/站点的典型（zdot）~10秒/网站zsi像素分辨率：0.09μm0.5X耦合器和100民z-step：2nm可压阶段13纳米与标准Z驱动器z轴分辨率：1Åzsi选项13纳米标准zdotrepeatability3：7海里（1σZeta-380/Zeta-380I系统的特点相机选项：640x480，1024x7681280x960放大倍数：35000x结合光学与数字照明：三（3）超亮白光LED机动化阶段：150mm×150mmXY旅游Z轴行程：40mmZeta-380/Zeta-380I光学轮廓仪相关产品：衡鹏供应：泽塔zeta-20|zeta-300|zeta-380|zeta-600)