美国Aalborg气体质量流量计美国AalborgInstrumentsControls,Inc成立于1972年，是世界上***的气体质量流量计/控制器的生产厂家，其产品广泛用于微电子工艺、真空镀膜、材料科学、石油化工、医药、环保等领域。产品特点：性价比高、响应速度快、可靠性高，易于集成、环路保护、备总量计数器典型应用：CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺。设计特点：－刚性金属结构－流程范围从0开始到10sccm直到0到1000slpm－***大压力500psig（34.5Bar）－泄漏率1＊10-7氦气－NIST系统标定可***的证明－可倾斜的LCD读表－0-5Vdc或4-20mA信号输出－电路保护－可用作便携式的设备－0到100％比例显示－可配备流量计算机)