日本CO***OS半导体特气检漏仪XP-703D日本新宇宙自动吸引式特点：***适合于检测半导体特气的微量泄漏。采用声光报警。规格检测对象气体半导体材料气体（***、***、乙、氢气等）检测原理***型半导体式采样方式自动吸引式可检测浓度（单位：ppm）***烷磷烷乙***氢气AsH3PH3B2H6SiH4H20.20.30.10.51.0检测表示蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁应答速度10秒以内)