不锈钢激光微小孔加工机床激光精密微小孔加工费米供激光精密微孔加工相比电火花微细孔加工、机械钻孔、化学腐蚀、机械冲孔等等，具有以下优点：高速（***高每秒4000孔）高精度（＜3μm）无材料限制（金属、陶瓷、硅片、有机物等等）孔型可编程（***小5μm、特定锥度孔）分布可定制（加工幅面300mm*300mm)，无需模具和掩膜无污染无耗材直接加工成型费米激光提供的激光微孔加工设备，***小加工微孔孔径5μm，整体加工精度&plu***n;4μm，局部特征精度＜3μm，加工幅面300*300mm，用于金属、陶瓷、硅片、玻璃、有机物等材料精密盲孔、通孔、开槽、切割加工等。主要用于：微电子器件制造、印刷模板制备、生物芯片制备、精密模具成型、仪器仪表精密零件制造主要特点：1.采用高功率高稳定紫外激光器直接烧蚀气化材料，μm级孔径，μm级热影响区；2.通过进口精密振镜高速高精度控制光束偏移，实现高速小幅面精密微孔加工；3.通过微米级高速直线电机平台平移实现高速高精度大幅面微孔加工；4.Z轴电动可调，以适应不同厚度材料，满足特定锥度孔加工要求；5.旁轴超分辨率工业相机用于振镜全幅面误差校正、超高精度的对焦、以及在线测量，保证系统长期使用稳定性和精度；6.系统采用大理石台面，提升系统的综合稳定性，所有机械部件精心选配以保证长期精度；7.***小加工微孔孔径5μm，整体加工精度&plu***n;4μm，局部特征精度＜3μm，加工幅面300*300mm；8.用于金属、陶瓷、硅片、玻璃、有机物等材料精密盲孔、通孔、开槽、切割加工等。设备参数类别参数FM-MircoDrilling-5FM-MircoDrilling-10***小光斑5μm系统加工精度&plu***n;4μm重复精度≤&plu***n;1μm加工范围300mm*300mm*50mm孔精度＜3μm***小加工通孔出孔1μm***大深宽比＞20:1＞30:1加工材料玻璃、金属、蓝宝石、陶瓷、有机物冷却水冷（1500W制冷量）吸尘三重粉尘净化电力220V50~60Hz功耗≤2000W尺寸850*1500*1800mm重量1200Kg【注】恒温（25&plu***n;0.5℃），预热30分钟之后获得上海费米激光科技有限公司为客户提供1~500微米特征线宽的精密微孔、精密蚀刻、精密切割、精密成型等激光解决方案。加工幅面300*300mm以上，整体加工精度***高&plu***n;2μm，局部特征精度＜2μm，金属、陶瓷、蓝宝石、有机物、玻璃等等均可加工。固定电话：021-31006703在线***：2307075936联系方式：15601692570公司网址：)