反应室对温湿度要求非常高，各工艺阶段对温湿度的要求不一样，而温湿度又相互影响，若不采取合理的控制方法将极大增加系统的能耗。我司采用综合式PID算法使温湿度上升或下降都能保持平稳，而非快速变化，该方式只需要操作人员进行简单的设置，而不需要调试设备时需***人员进行P、I、D微积分参数的设置。本系统具有温湿度控制精准，程序运行稳定，节能效果明显、故障报警、历史数据存储打印及远程监控的优点。)