PECVD石墨舟-石金科技有限公司-PECVD石墨舟批发
深圳市石金科技股份有限公司专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电极和相关的石墨制品,太阳能电池工艺设备的石墨舟及配件、C/C复合材料和保温隔热用石墨毡和软毡等多产品。石墨舟置于炉管中,紧贴炉管外壁设有弧形进气管,弧形进气管沿炉管壁表面设有直通炉内的进气小孔,所述进气小孔正对石墨舟上的石墨舟片之间的缝隙,所述弧形进气管上设有总进气管;本实用新型可以使特气通过总进气管进入炉管上的弧形进气管中,在弧形进气管中进行再分布,然后通过进气小孔进入炉管内的石墨舟,均匀的充斥在石墨舟片之间的缝隙中,在硅片表面均匀分布,能够一定程度上减少PECVD色差片的产生。深圳市石金科技股份有限公司专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电极和相关的石墨制品,PECVD石墨舟哪里有,太阳能电池工艺设备的石墨舟及配件、C/C复合材料和保温隔热用石墨毡和软毡等多产品。PE镀膜后四周发白浅析,近期经常接到客户咨询,PECVD石墨舟厂家,石墨舟镀膜后发现膜后的片子四周发白或四周发红。并且如果是新舟直接用就没有这个问题,用了第1个循环后,清洗后就会发现这个问题。这次就问题发生的原因做一个说明,并且给大家一些解决方法。附下图颜色与膜厚的关系一般来说我们机台出现问题基本上为三类,偏红,正常蓝,偏白(对应表中的淡蓝色,无明确的白色膜厚,此时的白色部分膜厚接近90左右)硅片在PECVD工序之前是常规的灰白色,通过一定的化学反应在片子表面生成一层膜。片子工艺结束后,PECVD石墨舟,就会得到我们需要的工艺颜色。客户所说的四周发白,PECVD石墨舟批发,可以理解成膜厚偏厚,假如建一个基准以77-83为正常膜厚,小于77很多可以理解成红片,大于83很多可以理解成偏白。上面说了片子是通过一定的化学反应生长出来的,现在客户反应的是偏白,就代表膜长的厚。厚的生长速度一般同温度和高频的功率有关。深圳市石金科技股份有限公司专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电极和相关的石墨制品,太阳能电池工艺设备的石墨舟及配件、C/C复合材料和保温隔热用石墨毡和软毡等多产品。国产石墨舟的生产技术水平已经达到甚至超过进口坩埚,优质的国产坩埚具有以下特点:1、石墨舟高的密度使得坩埚具备了z好的导热性能,其导热效果明显优于其他进口坩埚;2、石墨舟外表有特别制作的釉层和致密的成型材料,大大提高了产品的耐腐蚀性能,延长其使用寿命;3、石墨舟中的石墨成分全部采用天然石墨,导热性非常好。石墨舟加热后不可立刻将其置于冷的金属桌面上,以避免它因急剧冷却而断裂。PECVD石墨舟-石金科技有限公司-PECVD石墨舟批发由深圳市石金科技股份有限公司提供。PECVD石墨舟-石金科技有限公司-PECVD石墨舟批发是深圳市石金科技股份有限公司()今年全新升级推出的,以上图片仅供参考,请您拨打本页面或图片上的联系电话,索取联系人:万小姐。)
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