上海伯东德国普发Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵ATH1600-3200M，ATP2300M：抽速范围在1400-2800l/s的磁悬浮涡轮分子泵。ATH系列磁悬浮分子泵拥有5轴磁轴承监测系统和实时的转子位移自动修正功能确保长时间的稳定性和可靠性，同时运行时也非常安静。磁悬浮涡轮分子泵ATH系列广泛应用于半导体、镀膜和离子刻蚀等行业。Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵ATH1600-3200M，ATP2300M优点：1.清洁无油，大抽速2.免维护低成本***费3.涡轮分子泵极低的噪音和震动4.可任意角度安装Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵ATH1600-3200M，ATP2300M技术参数：：分子泵型号分子泵连接尺寸DN抽速l/s压缩比***高启动压强hPa极限压力全转速气体流量hPal/s启动时间重量进气口排气口氮气N2氦气He氢气H2氮气N2氮气N2hPa氮气N2minkgATH1603MATH1600MT250401,400970540>1X1081.7<6X10–967642ATH2303MATH2300MT250402,1501,8001,100>1X1082.9<6X10–967868ATH2800MATH2800MT250402,2002,4001,550>1X1082.1<6X10–9841093ATH3200MATH3200MT320402,8002,5001,700>1X1082.1<6X10–9841093ATP2300M320401,9502,0501,700>1X1082.1<6X10–937860MT型号的分子泵配有集成加热带可以进行温度控制。其自带加热系统和水冷系统同时作用，可以确保泵的工作温度相对恒定(***高工作温度75°C)，同时***小化过程化学物或副产物在泵体内因冷凝而产生的沉积。)