上海伯东德国普发Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵HiPace300-800M，ATH500M：抽速范围在300-800l/s的紧凑型磁悬浮涡轮分子泵。HiPaceM和ATH500M拥有5轴磁轴承。动平衡装置会进行自动校准，Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵可以***小程度上减轻震动和工艺过程中产生的轴承位移。低能耗和极低的维护成本确保了其极高的性价比。Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵HiPace300-800M，ATH500M产品优点：1.磁悬浮涡轮分子泵任意角度安装2.集成控制器3.清洁无油4.高气体流量5.低震动及低磁场干扰6.磁悬浮涡轮分子泵动平衡自动补偿7.转速范围大Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵HiPace300-800M，ATH500M技术参数：分子泵型号分子泵连接尺寸DN抽速l/s压缩比***高启动压强hPa极限压力全转速气体流量hPal/s启动时间重量进气口排气口氮气N2氦气He氢气H2氮气N2氮气N2hPa氮气N2minkgHiPace®300M10016255215170>1X101120<1X10–728213.1–17.2ATH500MATH500MT16025550390190>2X1072.6<1X10–867217–18HiPace®700M16025685600480>1X1018<1X10–713415.7–20.8HiPace®800M20025790625500>1X1018<1X10–713417.1–21.5)