x-ray 镀层测厚仪M4 TORNADO
技术参数样品类型固体、颗粒、液体、多层膜样品室尺寸W×D×H:600×350×260mm样品台尺寸W×D:330×170mm测量气氛大气/真空,在100秒内准备就绪样品移动***大移动范围W×D×H:270×240×120mm移动速度涡轮增速样品台***大移动速度可达100mm/s激发配多导毛细管聚焦镜的高强度X射线光管选项:可同时使用不同靶材的双光管X射线光管参数靶材Rh,可选靶材:Mo,Ag,Cu,W电压50kV,800μA光斑大小小于30μm(对于Mo-K)滤光片根据用户要求,***多6块滤光片探测器XFlash®硅漂移探测器选项:可***多同时使用3个探测器探测器参数有效面积10mm2,选项:30mm2能量分辨率计数率250,000cps时分别优于125eV、135eV仪器控制***的PC机,WindowsXP或Vista操作系统仪器控制功能光管参数、滤光片、光学显微镜、样品照明和样品***的***控制光谱评估谱峰识别、人工和自动背景校正、峰面积计算、对于块状样品和多层膜样品基于标样和无标样模式的定量分析分布分析“飞行中”测量模式,HyperMap软件功能结果显示定量结果、统计计算、元素分布(线扫描、面分布)电源要求110-240V(1P),50/60Hz尺寸(宽×深×高)815×680×580mm,130kg质量和安全DINENISO9001:2000认证,CE认证完全辐射防护系统;辐射剂量<1μSv/h)
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