技术参数：场发射(FE-SEM)部分：1.分辨率:高真空(SE):1.0nmat30kV,2.2nmat3kV,4nmat1kV低真空模式(LVSTD,BSE):2.0nmat30kV2.放大倍数:1~1000000x3.真空系统:枪体真空<1*10-6Pa低真空：7~500Pa,高、低真空可随时方便切换.4.加速电压0.2kVto30Kv5.电子束电流：2pA~200nA离子束(FIB)部分：6.分辨率：Canion机型：<5nm(30kV)Cobra机型：<2.5nm(30kV)7.放大倍数:150~1000000x8.真空系统:枪体真空<5*10-6Pa9.加速电压：0.5kVto30kV10.电子束电流：1pA—40nA（Canion)1pA—50nA（Cobra)11.样品室内部直径：340mm(宽)*315(深)样品室门：340mm(宽)x320mm(高)12.样品台行程:X=130mm--马达驱动(50mmto+80mm)Y=130mm--马达驱动(65mmto+65mm)Z=100mm--马达驱动旋转﹕360度连续--马达驱动倾斜﹕-60度~90度--马达驱动***大样品高度：139mm13.样品台***大承重可达10KG)