技术参数：1.分辨率:高真空(二次电子)3.0nmat30kv，8.0nmat3kv(背散射电子):3.5nmat30kV低真空(低真空二次电子)﹕3.5nmat30kV2.放大倍数:1to1000000×3.真空系统:低真空3~2000Pa4.加速电压0.2KVto30KV5.电子束电流1pA—2uA6.样品室内部尺寸:340mm(宽)x315mm(深)7.样品台行程:(5轴马达控制）X=130mmY=130mmZ=100mmT=-80°到+90°R=360°连续可调***大样品高度145mm.*U型为高低可变真空，H型为高真空电镜)