IRA3GMU/GMH是TESCAN***新推出的场发射扫描电子显微镜系列中样品室***大的一款,以高品质,完全计算机控制,用户友好界面为基础的系列产品.具有很多用户使用方便,产品质量稳定,分析***为特点的独创设计。技术参数：1.分辨率:高真空(二次电子)1.0nmat30kV(背散射电子):2.0nmat30kV低真空(低真空二次电子)﹕1.5nmat30kV2.放大倍数:1to1000000x3.真空系统:电子枪真空<3*10-7Pa样品室/低真空7-500Pa4.加速电压0.2kVto30Kv5.电子束电流2pA—200nA6.内部直径:340mm接口数:20+7.样品台行程:（5轴马达控制）X=130mm——马达控制Y=130mm——马达控制Z=100mm——马达控制R=360°连续--马达控制T=-80°至+90°--马达控制***大样品高度145mm.主要特点：国内***使用中文操作界面的电镜厂商1.电磁式电子枪自动对中;2.可以提供五种观察影像模式:分辨率模式;景深模式;视野模式;大视野模式,channeling模式，可以非常方便寻找样品位置;3.独创的低真空二次电子探测器(LVSTD).4.红外线样品室内摄像装置,可以在测量同时观测样品;5.真空系统采用一台机械泵和一台分子泵，电子枪部分使用离子泵，抽真空速度快,在更换样品后,三分钟内就可达到待测状态;并且不需要使用冷却水冷却。6.采用内置的主动式电磁减震系统，大大减少了对环境的要求。7.***的软件系统,在数据储存数据记录数据打印等方面具有多种创新功能.8.20个以上外扩展接口，可安装更多的附件9.可进行远程控制)