郑州科佳电炉有限公司生产的多通道质子混气供气系统（主要产品是1-4通道混气供气），可将多种气体按一定比例均匀混合后通入到管式炉中。各种气体的流量是通过精密的质量流量计来控制，流量计和混气罐都安装在一个移动柜内，而且移动柜顶部可以放置管式炉。此系列设备可用于搭建CVD系统，也可为样品退火提供所需的气氛环境。技术参数设备名称4通道供气系统GSL-4Z3通道供气系统GSL-3Z2通道供气系统GSL-2Z供气系统工作电压：182-245V/50HZ***大输出功率：18W工作温度：5-45℃***大气压：3×106Pa精度：&plu***n;1%FS质量流量计量程：1:0-100sccm2:1-199sccm3:1-199sccm4:1-499sccm可按客户要求订制其他量程的质量流量计工作电压182-245V/50HZ***大输出功率：18W工作温度：5-45℃***大气压：3×106Pa精度：&plu***n;1%FS质量流量计量程：1:0-100sccm2:1-199sccm3:1-499sccm可按客户要求订制其他量程的质量流量计工作电压：182-245V/50HZ***大输出功率：18W工作温度：5-45℃***大气压：3×106Pa精度：&plu***n;1%FS质量流量计量程：1:1-199sccm2:1-499sccm可按客户要求订制其他量程的质量流量计移动柜质量流量计和混气罐都安装在移动柜内移动柜顶部可放置管式炉***大承重量：227kg压力表量程-0.1~0.15MPa(0.01MPa/grid)不锈钢截止阀采用316不锈钢制作气体连接管采用1/4“的不锈钢管仪器中配有1/4”的PTFE管混气罐尺寸Φ80X120mm仪器尺寸600x600x650mm质保一年质保期，终生维护)