IoN40/M4L等离子清洗机PVATePla公司的IoN40等离子清洗机是为科研和生产领域设计的全功能的等离子表面处理设备。该设备外观简洁、高度集成化，可应用在***诊断、光学、电子等领域对各种材料的表面进行清洁、化学修饰或涂层沉积。PVATePla公司的高品质、高性价比、操作简单的等离子清洗机为各种不同的应用领域提供了******的创新解决方案，得到了用户的广泛信赖。***的功能性：灵活的电极设计保证了工艺的均匀性触摸屏操作的图形用户界面（GUI），操作软件符合SemiE95-1101和FDACFR第21章第Ⅱ部分的要求菜单驱动式工艺过程绘图和自诊断功能以太网通讯功能节能模式气体切换功能安装简单快捷规格参数工作腔室材质铝容积36.5升内部尺寸(宽/高/深)330x229x483mm可选电极初级等离子体垂直电极侧壁电极可抽卸的3层或5层电极板（284mmx349mm托盘）3层温控电极低微粒电极次级等离子体笼式电极工艺气体质量流量控制计***多至6路气体工艺压力大约0.162.66mbar（取决于真空泵和气体流量）抽真空时间大约1分钟（取决于真空泵）放气可调射频电源风冷，13.56MHz，600瓦（标配）供给需求电源220V/50Hz，单相，2.3KW，工艺气体输入压力1~2bar（14.5~29PSI）吹扫气体输入压力1~2bar（14.5~29PSI）压缩空气输入压力4~6bar（58~87PSI）设备尺寸(宽/高/深)775x723x781mm重量157Kg可选配置1%精度的真空规压力控制器指示灯柱条形码阅读器工艺气体切换器工艺编辑软件光谱终点检测器300瓦13.56MHz射频电源不锈钢材质MFC打印机循环液体冷却器气相MFC液态单体操作装置真空泵（旋片泵、干泵或涡旋泵）安全认证标准CE认证EN61010EN61326)