高精度研发级匀胶机旋涂仪
价格:1.00
SpinProcessor匀胶旋涂仪MYCRO公司提供美国原装进口匀胶旋涂仪,请您放心选购!MYCRO美国原装进口的旋涂仪,自1985年开始,我们便为提供化工半导体材料清洁涂敷处理等特殊工艺。公司拥有WS系列各类旋转涂敷系统,目前客户已遍布***。匀胶机有很多种称谓,英文叫SpinCoater或者SpinProcessor,又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机/旋转涂层仪、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机旋涂仪自1985年起,我们向遍布***的生***工和半导体材料科研领域的实验室提供表面涂敷工艺的解决方案,目前,全世界有超过12000套系统正在安全运行。适用旋涂材料的尺寸范围WS-650-23标配为10mm可选配到3mm或5mm6英寸(150mm)直径圆片或5x5英寸(125mm)边长方片WS-650-8标配为10mm可选配到3mm或5mm8英寸(200mm)直径圆片或7x7英寸(175mm)边长方片WS-650-15标配为10mm可选配到3mm或5mm12英寸(300mm)直径圆片或9x9英寸(225mm)边长方片WS-650-X标配为10mm可选配到3mm或5mm可根据用户特殊要求订制设备可选择三种不同的安装构造:***流行的TableTop型可自由放置在实验台面上OND型,带远程控制器可用于手套箱等封闭环境IND型,带远程控制器可用于WetStation湿法处理环境高性能马达驱动旋转控制Mz型高精度旋涂用马达转速范围:50~12000RPM(注50RPM是***小稳定转速)***大加速度:13000RPM/S;转速误差:<&plu***n;0.5RPM@8000RPMNIST标准认证;匀胶均匀性:<1%@6inchWafer安全设计保护气流构造旋涂过程中可以充氮气和***气,对旋转马达进***流保护;防止飞片设计嵌锁的安全盖板;盖板锁定后才可以启动旋涂作业;电子绝缘负载双保护;防腐构造设计;新一代650型高性能数显控制器。非常方便设定处理速度和加速度程序段;可设置顺序循环控制;控制精度数显控制器采用高位计数光学编码器输出,高精度密封循环伺服控制器,经美国***标准研究院NIST认证,实时显示精度控制在设定值的0.006%以内(美国NIST激光测量器件的极限值)。系统无需重复校准!操作者可随时随地自由实现人机交互;设备运转进程中,可随意向前,向后或者往返跳跃操作步骤;循环指令,并可以重复操作(多达255次);在运转模式下也可以实时改变速度和加速度;包含PC程序端接口;可视化操作模型(化学***,传感器所见即所得的操作界面);故障报警装置(可形象显明故障发生位置);加速度的***小分辨率为1RPM/S;宽广的速度设定范围(1~12000RPM);需要更详细的等离子体表面处理仪资料咨询,请与迈可诺技术有限公司中***销服务中心联系021-3319736718221354817Email:sales@.cntaran_zhao@.cn******:400-8800-298)
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