概述：超高真空兼容的丝杆运动平台，在***小的高度、负荷高达几公斤的情况下提供长行程运动***。采用“V”型滚轮导轨，金刚石修改正的丝杠和配件确保平滑的运动，精研螺母保证良好的稳定性，预紧力螺母消除间隙。特点：LTVL/LTVH/LTXL/LTXH系列-真空高低温耐辐射步进电机运动平台（可定制）行程：50to250mm；（LTX系列25-85mm）分别率：1um/步；无回滞，刚性强；承载能力：20kg；（LTX系列是50kg）可直接堆叠XYZ三轴平台真空度：1x10-10mBar；温度范围：-65ºC到+175ºC防辐射：1x106Gy；烘烤温度：200°C；“V”型滚轮导轨金刚石修正丝杠和相配的螺母规格单位LTVLLTVH行程mm50/100/150/200/25050/100/150/200/250整步分别率μm51***大速度mm/s154推荐真空环境中速度mm/s20.8重复***精度μm10.2水平负载能力kg2020负载力矩Nm<5<5轴向力@500HzIφ=1Akg310间隙μm忽略不计忽略不计转动,俯仰&偏载(无负载μrad<25<25RollComplianceμrad/Nm3333Pitch&YawComplianceμrad/Nm3333直线度μm<1.3μm/100mm<1.3μm/100mm使用步进电机D35.1D35.1真空度mBar1x10-101x10-10***大恩度°C200200平均故障间隔时间hrs15,00010,000规格单位LTXLLTXH行程mm25/55/8525/55/85整步分别率μm51***大速度mm/s154推荐真空环境中速度mm/s20.8重复***精度μm10.2水平负载能力kg5050负载力矩Nm<20<20轴向力@500HzIφ=1Akg310间隙μm忽略不计忽略不计转动,俯仰&偏载(无负载)μrad<25<25RollComplianceμrad/Nm55Pitch&YawComplianceμrad/Nm22直线度μm<1.3μm/100mm<1.3μm/100mm使用电机D35.1D35.1真空度mBar1x10-101x10-10***大温度°C200200平均故障间隔时间hrs15,00010,000)