CrossBeam工作模式：蚀刻、抛光过程中的高分辨率实时成像采用GEMINI镜筒实现高分辨率成像超高精度的聚集离子束(FIB)自动化的透射电子显微镜(TEM)样品制备软件包采用镜筒内置式EsB探测器，获得更好的组分像技术参数：技术参数：分辨率：电子光学FIB1.1nm@20kvNEON：7nm@30kv2.5nm@1kvNVision40：4nm@30kv加速电压：0.1-30kvNEON：2-30kvNVision40:5-30kv1-5kv(opt.)束流：NEON：12-900kxNEON：1pA-50nANVision40：4pA-20nANVision40:0.1pA-45nA放大倍数：NEON：4pA-10nANEON：600x-500kxNVision40：30x-900kxNVision40：475x-500kx发射源：热场发射Ga液态金属离子源(GaLMIS)标配探测器：In-lens二次电子探测器与样品室内ET探测器图像处理模式：7种积分平均模式操作界面：基体WindowsXP的***artSEM)