氮化硅陶瓷台阶轴反应烧结法（RS)是采用一般成型法，先将硅粉压制成所需形状的生坯，放入氮化炉经预氮化（部分氮化）烧结处理，预氮化后的生坯已具有一定的强度，可以进行各种机械加工（如车、刨、铣、钻).***后，在硅熔点的温度以上；将生坯再一次进行完全氮化烧结，得到尺寸变化很小的产品（即生坯烧结后，收缩率很小，线收缩率<011%).该产品一般不需研磨加工即可使用。反应烧结法适于制造形状复杂，尺寸***的零件，成本也低，但氮化时间很长)