化学气相沉积炉应用领域化学气相沉积炉（沉积炭）可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的复合材料的化学气相沉积，如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理。化学气相沉积炉产品规格产品型号/规格W×H×L(mm)600*600*1000800*800*12001000*1000*15001200*1200*25001500*1500*30002500*2000*3600装载重量(KG)35080015002500500010000***高温度(℃)150015001500150015001500温度均匀性(℃)&plu***n;7.5&plu***n;7.5&plu***n;7.5&plu***n;10&plu***n;10&plu***n;15加热功率(kw)2503604806009001200极限真空度(Pa)202020202020压升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.67以上化学气相沉积炉参数可以根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。化学气相沉积炉主要配置u炉门：丝杠升降//液压升降/手动升降；手动锁紧/自动锁圈锁紧u炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢u炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFCu加热器：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨u工艺气路系统：体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进口/国产u真空泵和真空计---进口/国产uPLC：欧姆龙/西门子u控温仪表：日本岛电/英国欧陆u热电偶：C分度号/S分度号/K分度号/N分度号u记录仪：无纸记录仪/有纸记录仪；进口/国产u人机界面：模拟屏/触摸屏/工控机u电器元件：正泰/施耐德/西门子u料车：滚道式/叉车式/叠加式超长传输料车化学气相沉积炉技术特征n本化学气相沉积炉***大工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m，能满足超大型工件化学气相沉积处理需求；n本化学气相沉积炉采用多温区***控温，温度均匀性好；n本化学气相沉积炉采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；n本化学气相沉积炉采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；n本化学气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。)