1-8英寸单面抛光硅片生长方式直拉单晶（CZ）直径和公差1-8英寸型号/掺杂类型N型(掺磷、***、锑)P型（掺硼）晶向<100><111>电阻率(Ω·cm)0.0015-60(Ω·cm)可按客户要求订制范围厚度和公差(μm)按照客户要求订制&plu***n;10平整度TIR(μm）<3μm翘曲度TTV(μm)<15μm弯曲度Bow(μm)<15μm粗糙度Ra(nm)<0.5nm颗粒(#perwafer)<10(forsize>0.3μm)包装方式25片装无尘真***装)