备注:1、正压指的是从晶圆底部进入；增益,在工厂校准使用的是负压2、对于***5652,量程为0.15psi的满量程输出是23.75mV(***小)至26.25(***大)3、测量温度超过22~58°C对于量程为0.15psi,满量程温度系数为&plu***n;2%FS；零点温度系数为&plu***n;2%FS；对于量程为0.3psi,满量程温度系数为&plu***n;0.75%FS4、对于量程为0.3psi,迟滞性为&plu***n;0.45%FS；对于量程为0.15psi,迟滞性为&plu***n;0.65%FS5、***佳直线拟合,是从晶圆顶部测量的对于量程为0.3psi,线性度为&plu***n;0.5%FS；对于量程为0.15psi,线性度为&plu***n;2.5%FS6、灵敏度匹配指的是部分与部分匹配的程度,对于量程为0.15psi,灵敏度匹配性为5.0%FS)