本仪器主要用于测量大直径的单晶硅和多晶硅的电阻率分布情况，以便硅材料的切割和加工。为适应大规模集成电路的迅猛发展，特别是计算机芯片、内存的发展，越来越多的使用到了大直径、高纯度、均匀度更高的单晶硅材料。目前，在美国、德国等***的工业***，均采用了二探针法，使用二探针检测仪来测量大直径单晶硅的电阻率分布情况。仪器符合美国ASTM《“F391-77”关于二探针测量硅单晶试验方法》的标准，是一种新型的半导体电阻率测试仪，适合半导体材料厂和器件厂用于二探针法***测量单晶硅和多晶硅半导体棒状材料的体电阻率，从而进一步判断半导体材料的性能，指导和监视工艺操作，也可以用来测量金属材料的电阻，仪器具有测量精度高、稳定性好、结构紧凑、使用方便、造型美观等特点。也可以配四探针测试头作常规的四探针法测量硅晶体材料。仪器分为仪表电气控制箱、测试台、探头三部分，仪表电气控制箱由高灵敏度直流数字电压表、高抗干扰高隔离性能的电源变换装置、高稳定高精度恒流源和电气控制部分组成。测量结果由大型LED数字显示，零位稳定、输入阻抗高，并设有自校功能。在棒状材料使用二探针法测试时，具有系数修正功能，从面板输入相应的修正系数，可以直接读出电阻率，使用方便。测试台结构新颖，造型美观，可以方便地固定好大小任意尺寸的样品，并可以作逐点选择步进测量，也可以自由选择固***置测量，电极活动自如，具备锁定装置，方便重复测量。另外还配置了二处记录板和转椅，测试探头能自动升降，探针为碳化钨材料，配置宝石轴承，具有测量精度高、游移率小、耐磨、使用寿命长特点。同时探头压力恒定并且可调整，以适合不同的材料。)