MarSurf-LD130-LD260粗糙度和轮廓度二合一***的测量和***极大的缩短了测量时间创新性的测头系统解决方案测臂的实时识别带来更快和更可靠的测臂更换基于标准化设计的友好界面，不需要完全的拆分机器即可实现仪器的***日益增加的各种测量任务需要要求了对粗糙度和轮廓度的同时测量。为了满足这一需求，测量单元必须实现***别的计量性能。亚纳米级的分辨率，小于20nm的RZ残余误差仅是需求中的两项。)