晶圆平整度曲率应力测量仪--德国OEG的详细描述：德国OEG公司成立于1991，设计制造***精密的光学和半导体领域仪器设备。主要产品：MTF测试系统光学测量工作站OTS200精密金刚石划片机MR200Flatscan晶圆平整度应力和表面曲率测量仪电子准直镜晶圆线宽和特征尺寸测量仪接触角/表面张力/表面自由能测量仪更多产品信息请来电咨询。光学非接触表面测量仪，能进行大范围的2D和3D测量，可测量晶圆应力（薄膜应力），表面半径曲率和斜坡。TTV，Bow,Warp.FLATSCAN：主要用于各种像硅、镜片、金属和抛光聚合物等反射表面的非接触测量，可测量平整度、表面曲率、平均半径和应力。光学测量原理保证了高精度，是通过测量垂直入射激光束的反射角，表面状态能通过测量点发射角的改变***测量。就半导体行业而言，是通过镀膜前后的对半径的计算测量应力。大测量的范围：测量直径***大200mm高测量精度：0.1arcsec,100nm选件：2D3D测量技术参数：)