光氧催化废气处理装置采用紫外线光源对废气分子链进行净化的***技术，运用254纳米波段光切割、断链、燃烧、裂解废气分子链，改变分子结构，为***重处理;取185纳米波段光对废气分子进行催化氧化，使***后的分子或中子、原子以O3进行结合，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在催化氧化过程中，转变成低分子化合物CO2、H2O等，为第二重处理;再根据不同的废气成分配置7种以上相对应的惰性催化剂，催化剂采用蜂窝状金属网孔作为载体，***与光源接触，惰性催化剂在338纳米光源以下发生催化反应，放大10-30倍光源效果，使其与废气进行充分反应，缩短废气与光源接触时间，从而提高废气净化效率，催化剂还具有类似于植物光合作用，对废气进行净化效果，为第三重处理，通过三重处理后的废气其除臭可达99%以上，净化、脱臭效果大大超过***1993年颁布的恶臭污染物排放标准(GB14554-93)。前期进气要预处理到位，比如喷淋、过滤，等离子等，要保证进气无固定污染物（否则灯管表面附着物过多短波紫外线很难透过），然后让主要有机无机废气成份经过双波段紫外线灯的光解反应区，使O3还原成氧气，在末端再加上一至两层臭氧催化网分解掉残余的少量臭氧，这样排放出来的空气则洁净如新。利用高能高臭氧气UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有较好的清除效果。​)