电容微位移传感器 位移传感器 电容传感器
电容微位移传感器是通过改变电容两极板间的电荷实现测量的。常用的方法有三种:变极板间距离的变极距型;改变极板面积的变面积型;还有就是改变介质介电常数的变介质型。现在所介绍的是变极距型的电容微位移传感器。电容微位移传感器应用领域:压电微位移、振动台,电子显微镜微调,天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等。该电容微位移传感器是一种非接触式的电容位移传感器;两个传感器板形成一个平行板电容器,每个传感器可用在两个不用的测量范围;纳米分辨率;零磁滞。电容微位移传感器主要特点:量程20~1250μm;分辨率<0.1nm;零磁滞;线性***高0.02%;频带可调:50~5000Hz;灵敏度可调;真空兼容选项;详情请访问:http:///mlhttp://英国真尚有集团深圳市真尚有科技有限公司电话:0755-26528100/26528011/26528012传真:0755-26528210/26435640)