为保持无尘室的洁净度，进出的人员有一定的穿著规定；10000与100000级，必须穿著长袍无尘衣、无尘鞋、带帽子与面罩；1000级(含)以上，需穿著特殊的洁净连身衣、无尘鞋将全身裹住，并带上手套和面罩，下表为无尘室清洁度的定义：尘粒数／立方英级数0.1μm0.2μm0.3μm0.4μm0.5μm1357.531N/A10350753010N/A100N/A750300100N/A1000N/AN/AN/A1000710000N/AN/AN/A1000070100000N/AN/AN/A100000700)