目标1能够***地调整和保持半导体晶片在进行物***相沉淀（PVD）室中整齐排列。2避免在进入沉淀室时，由于排列不整齐而造成晶片损坏。3确保沉淀物统一地沉淀在晶片上。解决方案KAMAN传感器在物***相沉淀系统中，晶片会被放入不同的沉淀室里，每一个沉淀室用来沉淀不同的物质。传感器被安装在沉淀室的内侧（如图所示）。KAMAN传感器每个传感器测量载有晶片的传送器在沉淀室中的位置。Kaman系统提供了模拟和数字两种输出信号，以防止超出系统可承受的范围。结果：提高了时间和精度。KAMAN传感器系统可以准确测量Z轴的位置，并配有两种输出模拟和数字信号，可以有效防止超出可承受范围。且具有高分辨率：系统可分辨出1纳米的位置改变。KAMAN传感器特点1类型：***T-97002非接触性：应用涡电流的技术，每一个传感器均可以无接触地测量到目标体的位置。3高分辨率：系统可识别4重复性：Kaman传感器可以提供高精度的性能，可以反复用于物***相沉淀。5系统多功能性：测量系统可以广泛用于测量的各个领域。详情请访问：http:///mlhttp://英国真尚有集团深圳市真尚有科技有限公司电话：0755-26528100/26528011/26528012传真：0755-26528210/26435640)