RTP快速退火炉的主要技术参数如下加热元件：卤素电极；电极数量：12支；整机功率：7.2KW；升温速率：200℃/Second；降温速率：30秒(1000℃→400℃)；***高温度：1100℃；温度精度：+/-1℃；***大样品尺寸：4英寸；气氛环境：真空、气体（氮气、***气、氧气）、空气；真空系统：可根据实际需要选配无油机型泵或者分子泵应用领域：-快速热退火-快速热氧化-快速热氮化-硅化-扩散-化合物半导体退火-离子注入后退火-电极合金化-晶向化和坚化-合金熔点分析;-薄膜沉积;等等…欲了解更多关于RTP快速退火炉的详情可致电：13837189935)