L10366系列是***新开发的真空紫外（VUV）光源单元。该产品使用了“带MgF2光窗的高亮度***灯”来产生比传统型号高出4倍的辐照强度。由于使用了空气制冷结构和真空法兰安装，该产品现在更易于操作。详细参数特性•高辐照前度：4倍（相比于传统型号）•115nm以上的高VUV强度•空气制冷（无需制冷水）•外部控制（***灯ON/OFF，***灯ON状态信号）•无需光轴对准应用•分光光度计、荧光光度计•半导体晶片*、LCD板等静电去除•光离子探测器（PID）•多种材料的抗紫外性测试•光化学汽相沉积（OpticalCVD）•激发光源*专利：USPAT.No.5596478,EPPAT.No.0597103TakasagoThermalEngineeringCO,Ltd.holdsabovepatents封装内容外形尺寸(单位：mm))