ABRS旋转气浮平台1专为高精密检测，光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计2无刷无槽伺服电机直接驱动3突出的速度稳定性（电机无接头效应）4***的运动性能,误差小,无抖动5直联高精度旋转编码器6扁平结构设计7无机械接触台面直径128.1-278.1mm分辨率0.18-0.036arcsec双向重复***精度<1arcsec)