ABL3600气浮平台1专为扫描显微镜/掩模/晶片检测独特应用设计2双轴,大孔,开放式结构3非接触直线编码器反馈,精度高4双直线电机驱动XY轴5所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)行程≤250mm精度&plu***n;1um重复***精度&plu***n;0.20um直线度&plu***n;0.50um平面度&plu***n;1um)